【精品图纸】晶圆烘烤箱

本实用新型的目的是提供一种晶圆烘烤系统，可以使得热处理过程中热板的温度分布均匀。本实用新型提供的技术方案如下：一种晶圆烘烤系统，包括：机台，加热装置，若干热板，设置在所述机台上，所述加热装置为所述热板加热， 若干温度传感器，布设在每个所述热板上测温，每个热板上至少设置一个温度传感器； 对中装置以及控制装置，根据所述减法器获得的温度差，调节所述加热装置为热板加热，以使所述热板之间的温度差不超过第一设定值。

图纸版本：	solidworks2015

图纸格式：	sldasm、sldprt

文件大小：	57.89MB

发布作者：	wty3000000

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