一文看懂光刻机

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木

2020-03-22 22:53:52

随着芯片制造工艺的持续微缩，光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记，更是成为了大家关照的焦点。究竟光刻机是怎么工作的？我们来看一下ASML官方科普。而要了解其原理，首先从了解其外面的保护壳开始。

视频来源：Cymer官方网站

内容来源：ASML阿斯麦光刻公众号

本期编辑：小艾
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巴斯疆

这家伙很懒，什么也没有留下

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