颠覆性技术MEMS，中国企业在其产业链中是何种角色

一、MEMS简介
MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。
与传统的机械传感器相比，MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点，可以满足物联网时代对于传感器的要求。

二、MEMS分类
MEMS 传感器种类很多，也有多种分类方法。按其工作原理，大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器，其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类，不同的MEMS 传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。
传感器分类览图



三、MEMS产业链流程
MEMS是多学科交叉的复杂系统，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。
MEMS产业链流程览图



四、EMES产业链相关企业
1、耐威科技-国内MEMS代工龙头
耐威科技是国内产品同时涵盖惯性及卫星导航，具有军工资质的为数不多的企业之一。公司立足导航产业，经多年发展形成“惯性导航+卫星导航+组合导航”产业链全覆盖，掌握了惯性导航及组合导航、高精度卫星导航定位的若干关键技术，同时其控股子公司具有从事军品研发、生产与销售的专业资质。 2、苏奥传感-国内汽车油量传感器龙头
苏奥传感全称为江苏奥力威传感高科股份有限公司，其主营业务是研发、生产和销售汽车零部件，主要产品分为三大类，分别为传感器及配件、燃油系统附件及汽车内饰件。目前是中国最大的汽车油量传感器制造企业之一，江苏省高新技术企业，公司于2016年4月29日在深交所创业板上市。苏奥传感目前公司拥有四家子公司，即传感器研究所、舒尔驰精密、烟台奥力威及武汉奥力威。2015年10月8日，公司决定对传感器研究所进行清算并注销。 3、苏州固锝-已量产MEMS惯性传感器
苏州固锝是国内半导体分立器件二极管行业最完善、最齐全的设计、制造、封装、销售的厂商，从前端芯片设计到后端封装技术，形成了一个完整的产业链。主要产品包括汽车整流二极管、功率模块、整流二极管芯片、硅整流二极管、开关二极管、稳压二极管、微型桥堆、军用熔断丝、光伏旁路模块等，产品广泛应用在航空航天、汽车、绿色照明、IT、家用电器以及大型设备的电源装置等许多领域。公司设计、研发太阳能电池用银浆以及各种电子浆料，研发并规模化生产物联网领域的MEMS传感器。
4、华工科技-国内家电温度传感器龙头
华工科技依托于华中科技大学，以激光技术及其应用为主业，建立了激光装备制造、光通信器件、激光全息仿伪、传感器、现代服务业的产业格局，将以智能制造和物联科技为主要业务发展方向。公司旗下企业华工激光、华工正源、华工高理、华工图像、华工赛百的产品广泛应用于机械制造、航空航天、汽车工业、钢铁冶金、船舶工业、通信网络、国防军工等重要领域，市场占有率处于行业领先地位。
5、士兰微-国内稀缺的IDM模式半导体公司
士兰微是一家专业从事集成电路以及半导体微电子相关产品的设计、生产与销售的高新技术企业。主要分为电源与功率驱动产品线、MCU 产品线、数字音视频产品线、物联网技术与产品线、射频与混合信号产品线、分立器件产品线等。目前是国内为数不多的IDM 模式半导体公司。
6、汉威电子-国内气体传感器龙头
汉威电子是国内最大的气体传感器及仪表制造商。公司围绕物联网产业，将感知传感器、智能终端、通讯技术、云计算和地理信息等物联网技术紧密结合，打造汉威云，建立完整的物联网产业链，结合环保治理、节能技术，为智慧城市、安全生产、环境保护、民生健康提供完善的解决方案。汉威电子坚持“聚焦专业细分市场”的发展战略，产品和系统解决方案已应用于全球近百个国家，建立了以传感器为核心，覆盖多门类检测仪表及行业物联网应用的整体布局。
7、中航电测-军工MEMS龙头 中航电测仪器股份有限公司是中国航空工业集团公司控股企业，主营业务为研制电阻应变计、精密电阻、应变式传感器、称重仪表和软件、航空机载和地面测试系统、机动车性能及环保检测系统、机动车驾驶员智能化培训系统、远程联网监管网络平台、车载称重控制系统、工业自动化系统、精密机电控制产品和物联网应用等军民用测量和控制产品及系统解决方案。公司拥有国际水平的设计能力、高水平的工艺装备及工艺制造技术，在国内中高端应变计和传感器市场占据主导地位。
五、全球MEMS供应链
MEMS整个产业链复杂，涉及的厂商众多；中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS，已形成完整MEMS的产业链。
全球MEMS供应链览图

关于微纳制造、器件与系统协同创新中心
2017年9月22日，由清华大学牵头发起联合组建的“微纳制造、器件与系统协同创新中心”在清华大学主楼接待厅举行培育启动仪式。清华大学副校长薛其坤，重庆大学副校长李茂国，北京遥测技术研究所所长李艳华等13位协同创新单位代表出席启动仪式，并共同签署“微纳制造、器件与系统协同创新中心”组建培育协议。
该中心由清华大学牵头，联合北京大学、上海交通大学、东南大学、重庆大学、天津大学等六所高校发起，携手淄博国家高新区MEMS研究院、陕西宝成航空仪表有限责任公司、中国空空导弹研究院、中国兵器工业集团第二一四研究所、北京遥测技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国航天科技集团钱学森空间实验室组建培育。
该中心旨在创新科技体制机制改革，整合国内微米纳米的创新力量和资源，提升高等学校的创新能力，为未来五十年我国在信息和能源等新兴产业以及国防科技方面领跑世界奠定基础，为建设创新型国家做出贡献。中心涉及微纳器件的正向设计与多学科仿真优化、先进材料和特殊材料的微纳制造、原创的MEMS加工新工艺、微纳器件、系统的集成和测试等研究方向，致力于形成世界领先的微米纳米学术研究制高点，构建一支国家智能微系统技术协同创新团队，研发一批国家急需的高端MEMS器件及系统，建成世界一流的微纳制造开放平台与人才培养基地。